Мейао ас үйі мен ванна ПВД процесі анықталды
2024-03-21
PVD (физикалық будың тұндыру) технологиясы - бұл вакуумдық жағдай бойынша жүргізілген дамыған беттік тазарту технологиясы, оның ішінде қатты немесе сұйық материал көзінің беті газ тәрізді және сұйық заттардың беті физикалық жағынан, молекулалар немесе жартылай иондалған иондармен айналысады, олар бетіне түседі Арнайы функциясы бар жұқа қабық пайда болатын субстрат. Технология үш негізгі категорияға бөлінеді: вакуумдық булану жабыны, вакуумдық қаптау жабыны және вакуумдық жабыны және вакуумдық ионмен қапталған, ол булану, шашырату және электр доғалары сияқты әртүрлі әдістерді қамтиды.
PVD процесінде, алғашқы қадам - газ тәрізді атомдар, молекулалар, молекулалар немесе иондар материалдық көзді булану температурасына дейін қыздыру арқылы шығарады, оны газдану, лакуациялау немесе төгу. Содан кейін бұл газдар жұқа пленканы қалыптастыру үшін вакуумдық ортадағы субстрат бетіне тасымалданады және салады. Бүкіл процесс қарапайым, ластамайтын және экологиялық таза, ал фильмнің пайда болуы субстратқа қатты байланысы бар біркелкі және тығыз.
ПВД технологиясы аэроғарышта, электроника, оптика, машиналар, құрылыстар, құрылыстар, декоративті, декоративті, электрлік, оқшаулағыш, оқшаулағыш, пьезоэлектрлік, магниттік, майлау, суперконстрик және басқа да сипаттамаларға дайын болуы мүмкін фильмнің. Жоғары технологиялар мен дамушы өндірістердің дамуымен ПВД технологиясы үнемі жаңартылып отырады, мысалы, көптеген инновациялық технологиялар, мысалы, көп доғалық ионды плюс және магнетронды шашырату технологиясы, үлкен тікбұрышты ұзын доға мақсатты және шашырату мақсаты пайда болды Технологияның дамуына ықпал ету.
Біздің зауытта вакуумдық булану жабынының бірінші түрін қолданады, ал осы жабынның бүкіл процесі төменде егжей-тегжейлі сипатталады.
Вакуумдық булану жабыны - PVD технологиясындағы ең көне және жиі қолданылатын әдістердің бірі. Бұл процессте жалғау нысаны алдымен булану температурасына дейін қызады, оны буланып, сұйық немесе қатты бетті қалдырады. Кейіннен, бұл газ тәрізді заттар субстрат бетіне вакуумға қоныс аударады және ақырында кен орны жұқа қабық қалыптастыру үшін тасымалдайды.
Бұл процеске қол жеткізу үшін булану көзі жалғау материалдарын булану температурасына дейін қыздыру үшін пайдаланылады. Буланушы дереккөздер, соның ішінде қарсылық, электронды арқалықтар, лазерлік сәулелер және басқалар үшін түрлі нұсқалар бар. Олардың кедергісі Булану көздері және электронды сәулелік булану көздері ең көп таралған. Кәдімгі булану көздерінен басқа, сонымен қатар арнайы буланған булану көздері, мысалы, жоғары жиілікті индукциялық жылыту, доғалы жылыту, жарқын жылыту және т.б.
Вакуумдық буланудың негізгі процесті келесідей:
Жазбайтын емдеу: тазалау және алдын ала тазартуды қоса. Тазалау қадамдары жуғыш заттарды тазалау, химиялық еріткіш тазалау, ультрадыбыстық тазалау және ион бомбалауын тазарту және т.б., ал алдын-ала тұраққа арналған статикалық және праймермен қапталған.
2. Осы қадам: Бұл қадам вакуумдық камераны тазалау, жалғау ілгіштерін тазалау, сондай-ақ булану көзін орнату және күйге келтіру және жалғау зертханалық картасын құруды қамтиды.
3.Бақюм шығару: біріншіден, өрескел сору 6,6 ПА-дан жоғары, содан кейін диффузиялық сорғының алдыңғы сатысы вакуумдық сорғыны ұстап тұру үшін іске қосылады, содан кейін диффузиялық сорғы қызады. Алдын ала қыздырудан кейін, жоғары клапанды ашып, диффузиялық сорғыны 0,006PA фондық вакуумға сорып алу үшін диффузиялық сорғыны қолданыңыз.
4. Табу: Қапталған бөлшектер қажетті температураға дейін қызады.
5.Біріктің бомбыралауы: Ион бомбалауы вакуумдық деңгейден шамамен 10 PA-дан 0,1 тапқан деңгейде, ал теріс, 1 кВ-қа дейін, ал теріс, 2 кВ-қа дейін, ал ион бомбалауы 5 минуттан 30 минутқа дейін жүзеге асырылады.
6.Бірель-балқыту: токты пластиналық материал мен дегалардың алдын-ала еріту үшін 1 минут 2 минутқа дейін реттеңіз.
7.Апализацияны тұндыру: булану тогын қажет болған жағдайда, қажет болған кезде қажетті уақытқа дейін реттеңіз.
8.Қолдау: жалатылған бөлшектерді вакуумдық камерадағы белгілі бір температураға дейін салқындатыңыз.
9.Қазылған бөлшектерді алып тастағаннан кейін, вакуум камерасын жауып, вакуумды жабыңыз, диффузиялық сорғыны, содан кейін диффузиялық сорғыны салқындатқыш суды және салқындатқыш суды өшіріңіз.
10.Остық-емдеу: үстіңгі қабатын қолданғаннан кейінгі жұмысты орындау.
